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預(yù)見2020：2020年中國(guó)離子注入機(jī)產(chǎn)業(yè)全景圖

2020-08-14 14:24

產(chǎn)業(yè)鏈——下游應(yīng)用廣泛

離子注入機(jī)是高壓小型加速器中的一種，是由離子源得到所需要的離子，經(jīng)過加速得到幾百千電子伏能量的離子束流，用做半導(dǎo)體材料、大規(guī)模集成電路和器件的離子注入，還能用于太陽能電池等的制造。

離子注入機(jī)也是集成電路制造前工序中的關(guān)鍵設(shè)備，半導(dǎo)體為改變載流子濃度和導(dǎo)電類型需要對(duì)半導(dǎo)體表面附近區(qū)域進(jìn)行摻雜，而離子注入與常規(guī)熱摻雜工藝相比可對(duì)注入劑量、注入角度、注入深度、橫向擴(kuò)散等方面進(jìn)行精確的控制，使得離子注入在半導(dǎo)體制造中被廣泛應(yīng)用。

圖表1：離子注入機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈?zhǔn)疽鈭D

圖表2：離子注入在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中的環(huán)節(jié)

產(chǎn)業(yè)政策——離子注入機(jī)成關(guān)鍵研發(fā)設(shè)備

從政策環(huán)境上來看，我國(guó)對(duì)于離子注入機(jī)行業(yè)較為重視。其主要表現(xiàn)在將離子注入機(jī)在多項(xiàng)政策中列為推薦發(fā)展的關(guān)鍵設(shè)備。如《國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推薦綱要》中明確提出，要離子注入機(jī)作為關(guān)鍵設(shè)備進(jìn)行研發(fā)。；《首臺(tái)（套）重大技術(shù)裝備推廣應(yīng)用指導(dǎo)目錄》（2019年版）也將中束流、大束流、高能離子注入機(jī)等離子注入機(jī)列入了名錄。

圖表3：我國(guó)離子注入機(jī)行業(yè)政策規(guī)劃解讀

設(shè)備簡(jiǎn)析——設(shè)備類型因具體應(yīng)用而異

根據(jù)離子束電流和束流能量范圍，一般可以把離子注入機(jī)分為低能大束流離子注入機(jī)、高能離子注入機(jī)和中低束離子注入機(jī)。這些離子注入機(jī)的運(yùn)行原理基本萊斯，但是注入計(jì)量范圍和具體在工藝中的主要應(yīng)用各有不同，其具體如下：

圖表4：離子注入機(jī)分類

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