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芯片的出光面是什么晶面？側(cè)邊是什么晶面？

        做過LED或者LD芯片的童鞋應(yīng)該會了解到外延基板晶向問題。比如在激光芯片中，常使用（110）晶面作為解離面，解離面比較光滑，具有較高的反射率，因此即便是不鍍減反膜和高反 膜芯片端面也有大概30％的反射率。

       開始先提出兩個問題：

1）一般砷化鎵外延是在（100）晶面基板上生長起來的。芯片Die的解離面是（110），基板大定位邊所在面是（0，－1，－1），小平邊是次參考面（0，－1，1）。如下圖根據(jù)基板，確定die解離劃裂線方向，和die的六個面所處的晶面。

下圖芯片的出光面是什么晶面？側(cè)邊是什么晶面？分別和上表面成多少度角？

2）晶面為什么要偏轉(zhuǎn)15°？

回答以上問題，需要回顧一下，砷化鎵的晶格結(jié)構(gòu)，是屬于固體物理的知識。

砷化鎵晶格結(jié)構(gòu)

上圖是砷化鎵的晶格結(jié)構(gòu)

砷化鎵晶格是由兩個面心立方（fcc）的子晶格（格點(diǎn)上分別是砷和鎵的兩個子晶格）沿空間體對角線位移1／4套構(gòu)而成。這種晶體結(jié)構(gòu)在物理學(xué)上稱之為閃鋅礦結(jié)構(gòu)。

                                             溫習(xí)一下晶格晶向的知識點(diǎn)

因此晶向［u v w］是一個射線，起點(diǎn)是原點(diǎn)，過uvw坐標(biāo)的一個點(diǎn)連接而成。

＜uvw＞尖括號是晶向族，包括多種組合。

如上圖 （221）晶面垂直于【221】晶向

如上圖是（100）晶面的砷化鎵基板，第一幅是從正面俯視，如果要切割出｛110｝面的解離面，該如何下刀呢？

思考一下，下期再詳寫

聲明： 本文由入駐維科號的作者撰寫，觀點(diǎn)僅代表作者本人，不代表OFweek立場。如有侵權(quán)或其他問題，請聯(lián)系舉報。

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